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第107章 光栅测试(2 / 2)

都是小问题,只要能把光栅造出来,其它的都不是事。

“现在就上机试一下吧,我们已经等了很久了。”江超笑道,“自从谭师妹把具体的资料交给我们之后,我们已经把改造的架子给装上去了,只要把光栅放上去,就能进行测试了。”

“软件那边呢?”王向中用手肘捅了捅一旁的白马,“白师兄,你可别告诉我到现在你们还没准备好。”

“都准备好了,放心吧!”白马豪爽地笑道:“我们只是添加了部分工序的代码而已,其它的都不用多改。”

这种离轴照明法所用的程序和一般的光刻程序无异,只不过是调整了一些参数,增加了一些代码片段而已,毕竟离轴照明法只是对光掩膜提出了更高的要求,而非是光刻机和工作台本身。

“别磨叽了,你这个小组长怎么当的!”萧炎见到王向中仍然是不急不缓的模样,一下子就来了脾气:“还不赶紧去制定测试计划!”

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