亏。
有了世界第一的ArF准分子激光器专利技术的终身授权，BSEC光源厂就能合法生产ArF准分子激光器（不能出售和转让专利技术），邓国辉团队在研究透了ArF准分子激光器的基础上，开始研发ArFi准分子激光器，提前研制193nm浸没式光刻机，一旦研制成功，BSEC必将脱胎换骨。
浸没式光刻系统是前世台积电林工程师的建议，被投入巨资研究F2准分子激光器的尼康和佳能等光刻机光源专家嗤之以鼻，但ASML冒险采纳了这个建议，攻克了光刻机193nm波长的世界性光学难题，生产了全球第一台浸没式光刻机，一举成名！
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